行星式氣動馬達相比較于傳統的氣動馬達，體型更小，構造更為緊湊。主要特點：體型小，輸出功率小，轉動速度高。微型氣動馬達主要為葉片式馬達，以小功率馬達為主，輸出功率從幾十瓦到幾百瓦之間不等，轉動速度從幾千到一萬多之間不等。
行星式氣動馬達運用于需要馬達高轉速低扭矩的工作情況。由于其體型小巧，重量較輕，廣泛運用于各類氣動工具上，當作驅動源。比如氣動打磨機，氣動拋光機等。
行星式氣動馬達還可以搭配減速機來運用，降低轉動速度，提高扭矩以適用于有所不同的工作狀況。微型氣動馬達較常用減速機種類為行星齒輪減速，行星減速機為內置式設計，和馬達殼體為一體式，空間布局精巧，結構緊湊。因此減少了附加的減速機構給馬達的產生的體積重量上的改變。這類微型氣動馬達，加工精度高，價格也比一般的氣動減速馬達要高，但是相比較于一般氣動減速馬達，這類馬達性能表現更為優越。
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